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全球半導(dǎo)體設(shè)備廠商 TOP 12 強(qiáng)以及大陸 TOP 10 強(qiáng)盤點(diǎn)!
1、Applied Materials(應(yīng)用材料)
應(yīng)用材料公司是一家半導(dǎo)體和顯示制造設(shè)備商,應(yīng)用材料公司成立于1967年,2017財(cái)年,應(yīng)用材料公司營業(yè)額達(dá)到145億美元,在17個(gè)國家設(shè)有90個(gè)分支機(jī)構(gòu),全球員員工人數(shù)18400人。擁有超過11,900專利。
1984年,應(yīng)用材料公司在北京設(shè)立了中國客服中心,成為第一家進(jìn)入中國的國際芯片制造設(shè)備公司。通過長期參與中國的高科技制造業(yè),應(yīng)用材料公司為半導(dǎo)體、先進(jìn)顯示以及太陽能光伏制造行業(yè)提供設(shè)備與服務(wù)。
作為一家老牌的美國半導(dǎo)體設(shè)備商,應(yīng)用材料(AMAT)是全球最大的半導(dǎo)體設(shè)備公司,產(chǎn)品橫跨CVD、 PVD、刻蝕、CMP、RTP等除光刻機(jī)外的幾乎所有半導(dǎo)體設(shè)備。在全球晶圓處理設(shè)備供應(yīng)商中排名第一,應(yīng)用材料市占率19%左右,其中,在PVD領(lǐng)域,應(yīng)用材料占據(jù)了近85%的市場份額,CVD占30%。
2、Lam Research(泛林)
LamResearch是刻蝕機(jī)設(shè)備領(lǐng)域龍頭。Lam Research是向世界半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)提供晶圓制造設(shè)備和服務(wù)的主要供應(yīng)商之一。主要從事半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備、開發(fā)、制造、銷售及售后服務(wù)。公司的產(chǎn)品有等離子刻蝕機(jī),化學(xué)機(jī)械拋光及清洗設(shè)備等??偛吭O(shè)在加州硅谷,是一家在NASDAQ上市公司。公司在世界各地設(shè)立了40多個(gè)分公司和客戶服務(wù)中心。鎂光科技、三星電子、SK 海力士等都是其主要客戶。
3、Tokyo Electron(東京電子)
Tokyo Electron LTD (簡稱TEL)成立于1963年,是全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體制造設(shè)備和液晶顯示器設(shè)備的制造商。東京電子是日本IC和PFD設(shè)備最大制造商,也是世界第三大IC和PFD設(shè)備制造商。
東京電子在半導(dǎo)體及液晶顯示器的制造設(shè)備方面,TEL對全球電子產(chǎn)業(yè)的發(fā)展做出了巨大的貢獻(xiàn)。TEL集團(tuán)遍布全球,在日本、美國、歐洲、臺灣、韓國及中國等地都建立了自己的網(wǎng)點(diǎn)。
東京電子的膜沉積和蝕刻設(shè)備營收在2016年漲幅超大大,這兩種設(shè)備是用在生產(chǎn)大容量的 3D存儲器。
公司在 2018 財(cái)年?duì)I業(yè)收入增長 37.96%,凈利潤增長 73.09%。公司十分注重研發(fā)投入, 2018 財(cái)年的計(jì)劃研發(fā)費(fèi)用約 1200 億日元(約合 80 億人民幣),設(shè)備投資 510 億日元(約合 30 億人民幣),
4、ASML(阿斯麥)
ASML (全稱: Advanced Semiconductor Material Lithography), 目前該全稱己不做為公司標(biāo)識使用,公司的注冊標(biāo)識為ASML Holding N.V),中文名稱為阿斯麥(中國大陸)、艾司摩爾(中國臺灣)。是總部設(shè)在荷蘭Veldhoven的全球最大的半導(dǎo)體設(shè)備制造商之一。
ASML為半導(dǎo)體生產(chǎn)商提供光刻機(jī)及相關(guān)服務(wù),TWINSCAN系列是目前世界上精度最高,生產(chǎn)效率最高,應(yīng)用最為廣泛的高端光刻機(jī)型。目前全球絕大多數(shù)半導(dǎo)體生產(chǎn)廠商,都向ASML采購TWINSCAN機(jī)型,例如英特爾(Intel),三星(Samsung),海力士(Hynix),臺積電(TSMC),中芯國際(SMIC)等。
目前,荷蘭ASML幾乎壟斷了高端領(lǐng)域的光刻機(jī),市場份額高達(dá)80%。全球只有ASML能夠生產(chǎn)EUV(極紫外光刻機(jī)),ASML新出的EUV光刻機(jī)可用于試產(chǎn)7nm制程,價(jià)格高達(dá)1億美元。
5、KLA-Tencor(科天)
KLA-Tencor于1997年4月通過 KLA Instruments (KLA)和 Tencor Instruments (Tencor)合并成立。 這兩家公司一直是半導(dǎo)體設(shè)備和良率管理軟件系統(tǒng)行業(yè)的長期領(lǐng)跑者。 在合并之前,兩家企業(yè)分別致力于檢測和量測領(lǐng)域,KLA專注于缺陷檢測解決方案, 而Tencor則致力于量測解決方案。 通過價(jià)值13億美元的一比一股票互換合并, KLA-Tencor 一舉成為行業(yè)頂尖的工藝管控供應(yīng)商,并且獨(dú)家為客戶提供完整的良率管理系列產(chǎn)品及服務(wù)。
KLA-Tencor公司是工藝控管和良率管理解決方案業(yè)界領(lǐng)跑者, 與世界各地的客戶合作開發(fā)最先進(jìn)的檢測和量測技術(shù)。 這些技術(shù)致力于半導(dǎo)體, LED等相關(guān)納米電子工業(yè)。
科磊自成立起便深耕于半導(dǎo)體前道檢測設(shè)備行業(yè), 目前其產(chǎn)品種類已經(jīng)覆蓋加工工藝環(huán)節(jié)的各類前道光學(xué)、電子束量檢測設(shè)備。 憑借其檢測產(chǎn)品高效、精確的性能特點(diǎn),科磊以52%的市場份額在前端檢測設(shè)備行業(yè)內(nèi)具有絕對的龍頭地位。
6、Screen Semiconductor Solutions(迪恩士)
迪恩士(SCREEN)總部位于日本。成立于1868年,于1975年開發(fā)出晶圓刻蝕機(jī),正式開啟半導(dǎo)體設(shè)備制造之路。在隨后的40多年里,迪恩士專注于半導(dǎo)體制造設(shè)備,尤其是清洗設(shè)備的研發(fā)與推廣,開發(fā)出了適應(yīng)于多種環(huán)境的各類清洗設(shè)備,并在半導(dǎo)體清洗的三個(gè)主要領(lǐng)域均獲得第一的市場占有率。
迪恩士有4個(gè)主要的業(yè)務(wù)方向,半導(dǎo)體制造設(shè)備、圖像情報(bào)處理機(jī)器、 液晶制造設(shè)備、印刷電路板設(shè)備。半導(dǎo)體制造設(shè)備包括清潔、涂布和退火設(shè)備,半導(dǎo)體制造設(shè)備是該公司收入的主要部分,2017年占總收入的66.7%。從2016年財(cái)年來看,半導(dǎo)體制造設(shè)備中,清洗設(shè)備收入占該業(yè)務(wù)收入的90%。
迪恩士不僅在半導(dǎo)體清洗設(shè)備,也在圖像情報(bào)處理機(jī)器和液晶制造設(shè)備行業(yè)擁有龍頭地位。 在圖像情報(bào)處理機(jī)器領(lǐng)域,該公司的脫機(jī)直接印版(CTP技術(shù))設(shè)備市場占有率為31%,為全球第一位。而在液晶制造設(shè)備領(lǐng)域, 液晶涂布機(jī)的市場占有率為71%,也為全球第一。
7、SEMES(細(xì)美事)
SEMES成立于1993年,是半導(dǎo)體和FPD兩個(gè)事業(yè)為主的綜合設(shè)備廠商,于2004年建立TFT LCD設(shè)備生產(chǎn)為目的的第三工廠。Semes是韓國最大的預(yù)處理半導(dǎo)體設(shè)備與顯示器制造設(shè)備生產(chǎn)商,可稱其為韓國半導(dǎo)體設(shè)備廠第一大廠,主要生產(chǎn)清洗、光刻和封裝設(shè)備。
8、Hitachi High-Technologies(日立高新)
日立高新(Hitachi-High Technologies)成立于2001年,由Hitachi Ltd. Instruments Group和Semiconductor Manufacturing Equipments Group與Nissei Sangyo Co.,Ltd。(一家專注于電子產(chǎn)品的公司)合并而成。
日立高新生產(chǎn)的設(shè)備包括:半導(dǎo)體制造設(shè)備,如芯片貼片機(jī)和蝕刻和檢測系統(tǒng); 分析和臨床儀器,如電子顯微鏡和DNA測序儀; 平板顯示器(FPD),液晶顯示器(LCD)和硬盤的制造設(shè)備; 計(jì)量和檢查設(shè)備。該公司還銷售鋼鐵,塑料,硅芯片,精細(xì)化學(xué)品,光學(xué)元件以及汽車相關(guān)設(shè)備和材料。日立高科技在日本的銷售額占42%。日立擁有該公司近52%的股份。
在半導(dǎo)體設(shè)備方面,日立高新主要生產(chǎn)沉積、刻蝕、檢測設(shè)備,以及封裝貼片設(shè)備等。
9、Hitachi Kokusai(日立國際電氣)
Hitachi Kokusai Electric于2000年10月成立,由三家日立集團(tuán)公司合并而成,這些公司從事與視頻,無線通信和半導(dǎo)體制造設(shè)備相關(guān)的業(yè)務(wù)。國際電氣:從事無線通信設(shè)備與半導(dǎo)體制作,1949年設(shè)立;日立電子:從事無線通信設(shè)備與映像設(shè)備制作,1948年設(shè)立;八木天線(Yagi Antenna),由發(fā)明八木天線的八木秀次博士于1952年成立,擁有天線專利。
該公司生產(chǎn)的半導(dǎo)體設(shè)備主要是熱處理設(shè)備。
10、Daifuku(大幅)
Daifuku(大福)(集團(tuán))公司自1937年成立以來,始終致力于物料搬運(yùn)技術(shù)與設(shè)備的開發(fā)、研究。
大福(集團(tuán))有六項(xiàng)主要業(yè)務(wù):制造業(yè)及流通產(chǎn)業(yè);半導(dǎo)體、液晶制造業(yè);汽車制造業(yè);機(jī)場專用系統(tǒng);洗車機(jī)及相關(guān)產(chǎn)品;電子產(chǎn)品。
其中在半導(dǎo)體、液晶制造業(yè)中,面向半導(dǎo)體、液晶制造業(yè)提供自動(dòng)化潔凈室輸送、存儲系統(tǒng)。該系統(tǒng)在生產(chǎn)智能手機(jī)和平板電腦所需的半導(dǎo)體和液晶顯示器的過程中起著至關(guān)重要的作用,目前已在北美、韓國、中國和臺灣等國家和地區(qū)獲得了可觀的銷售業(yè)績。
11、ASM International(先域)
ASMI(ASM International)總部位于荷蘭阿爾默勒,在阿姆斯特丹泛歐證券交易所上市。制造業(yè)設(shè)在新加坡和韓國。
ASMI主要生產(chǎn)光刻,沉積,離子注入和單晶圓外延設(shè)備,擅長是原子層沉積(ALD)和等離子體增強(qiáng)原子層沉積(PEALD)產(chǎn)品。
ASM是ASM International NV集團(tuán)的一部分,該集團(tuán)還包括ASM Pacific Technology(ASMPT)。
ASM是晶圓加工半導(dǎo)體工藝設(shè)備的領(lǐng)先供應(yīng)商。公司開創(chuàng)了許多工業(yè)中使用的晶圓加工技術(shù)的重要方面,包括光刻,沉積,離子注入和單晶圓外延。近年來,公司將R&D的原子層沉積(ALD)和等離子體增強(qiáng)原子層沉積(PEALD)直接引入先進(jìn)制造商的主流生產(chǎn)。
ASMP擁有大約2%的大部分所有權(quán),是晶圓組裝和封裝以及表面貼裝技術(shù)的半導(dǎo)體工藝設(shè)備的領(lǐng)先供應(yīng)商。
12、Nikon(尼康)
尼康成立于1917年,最早通過相機(jī)和光學(xué)技術(shù)發(fā)家,1980年開始半導(dǎo)體光刻設(shè)備研究,1986年推出第一款FPD光刻設(shè)備,如今業(yè)務(wù)線覆蓋范圍廣泛。尼康既是半導(dǎo)體和面板光刻設(shè)備制造商,同時(shí)還生產(chǎn)護(hù)目鏡,眼科檢查設(shè)備,雙筒望遠(yuǎn)鏡,顯微鏡,勘測器材等健康醫(yī)療和工業(yè)度量設(shè)備。
在FPD光刻方面,尼康則可發(fā)揮其比較優(yōu)勢,尼康的機(jī)器范圍廣泛,從采用獨(dú)特的多鏡頭投影光學(xué)系統(tǒng)處理大型面板到制造智能設(shè)備中的中小型面板,提供多樣化的機(jī)器。
尼康雖然在芯片光刻技術(shù)上遠(yuǎn)不及ASML,目前的產(chǎn)品還停留在ArF和KrF光源,且售價(jià)也遠(yuǎn)低于ASML,和EUV更加難以相提并論。但目前,其盈利性也很大程度上依賴光刻設(shè)備,尤其是芯片光刻設(shè)備,2017年光刻設(shè)備營收占比高達(dá)33%。
尼康的研發(fā)投入也持續(xù)增長,但其中對于光刻設(shè)備的投入比重卻在下降。從2008年260億日元一路下降至2017年160億日元。
1、中電科:在離子注入機(jī)和CMP(化學(xué)機(jī)械拋光機(jī))領(lǐng)域能力較強(qiáng)
北京中電科電子裝備有限公司,隸屬于中國電子科技集團(tuán)(世界500強(qiáng)),是由電科裝備全資控股的國家火炬計(jì)劃重點(diǎn)高新技術(shù)企業(yè),地處北京亦莊經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)。北京中電科致力于電子封裝成套裝備、自動(dòng)化裝備、智能制造裝備的研發(fā)、制造與市場服務(wù)以及晶圓封裝代工服務(wù)。
公司自主研發(fā)的晶圓劃切設(shè)備、倒裝設(shè)備、分選設(shè)備、壓焊設(shè)備、晶圓減薄設(shè)備已廣泛應(yīng)用于集成電路(IC)、半導(dǎo)體照明(LED)、微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)、分立器件、太陽能等國內(nèi)龍頭封裝企業(yè)。
離子注入機(jī)和CMP(化學(xué)機(jī)械拋光機(jī))領(lǐng)域能力較強(qiáng):
>離子注入機(jī):2016年推出的45-22nm低能大束流離子注入機(jī)在2017年也在中芯國際產(chǎn)線進(jìn)行驗(yàn)證,驗(yàn)證通過后,將會批量出貨,進(jìn)一步提高中芯國際產(chǎn)線離子注入機(jī)國產(chǎn)化率。
>CMP:2017年11月21日,電科裝備自主研發(fā)的200mmCMP商用機(jī)完成內(nèi)部測試,發(fā)往中芯國際天津公司進(jìn)行上線驗(yàn)證,這是國產(chǎn)200mmCMP設(shè)備首次進(jìn)入集成電路大生產(chǎn)線。
2、晶盛機(jī)電:在半導(dǎo)體級8英寸單晶爐領(lǐng)域已成功實(shí)現(xiàn)進(jìn)口替代
浙江晶盛機(jī)電股份有限公司創(chuàng)建于2006年12月,是一家以“發(fā)展綠色智能高科技制造產(chǎn)業(yè)”為使命的高端半導(dǎo)體裝備和LED襯底材料制造的高新技術(shù)企業(yè)。公司于2012年5月在創(chuàng)業(yè)板上市(證券代碼:300316),下屬9家子公司,3個(gè)研發(fā)中心,其中一個(gè)海外研發(fā)中心,擁有工業(yè)4.0方向的省級重點(diǎn)研究院、省級晶體裝備研究院等研究平臺、博士后工作站。
公司以技術(shù)創(chuàng)新作為持續(xù)發(fā)展的動(dòng)力源泉。相繼開發(fā)出具有完全自主知識產(chǎn)權(quán)的全自動(dòng)單晶爐、多晶鑄錠爐、區(qū)熔硅單晶爐、藍(lán)寶石爐,成功開發(fā)并銷售多種光伏智能化裝備,并布局高效光伏電池和組件等其他裝備的研發(fā),努力打造光伏產(chǎn)業(yè)鏈裝備最齊全、技術(shù)最強(qiáng)的裝備龍頭企業(yè);在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)8-12英寸大硅片制造用晶體生長及核心加工裝備的國產(chǎn)化;成功掌握國際領(lǐng)先的超大尺寸300kg、450kg級藍(lán)寶石晶體生長技術(shù),藍(lán)寶石材料業(yè)務(wù)具備較強(qiáng)的成本競爭力并逐步形成規(guī)模優(yōu)勢;在工業(yè)4.0方向,公司為光伏產(chǎn)業(yè)、半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)和LED產(chǎn)業(yè)提供智能化工廠解決方案,滿足了客戶對“網(wǎng)絡(luò)化+智能制造”“機(jī)器換人”的生產(chǎn)技術(shù)需求。
3、捷佳偉創(chuàng):產(chǎn)品主要應(yīng)用于光伏產(chǎn)業(yè)
深圳市捷佳偉創(chuàng)新能源裝備股份有限公司是一家高速發(fā)展的新能源裝備研發(fā)制造企業(yè)。2003年,公司的前身創(chuàng)立于廣東省深圳市。公司在深圳坪山在建六萬多平方米工業(yè)園,在常州新北區(qū)自建三萬多平方米工業(yè)園。公司員工總數(shù)超過1400人。
公司的產(chǎn)品包括單/多晶制絨設(shè)備、管式擴(kuò)散氧化退火爐、濕法刻蝕設(shè)備、管式等離子體淀積爐、智能自動(dòng)化設(shè)備等五大產(chǎn)品系列。
4、北方華創(chuàng):在氧化爐、刻蝕機(jī)、薄膜沉積設(shè)備和清洗設(shè)備領(lǐng)域能力較強(qiáng)
北方華創(chuàng)科技集團(tuán)股份有限公司是由北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司和北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司戰(zhàn)略重組而成,是目前國內(nèi)集成電路高端工藝裝備的領(lǐng)先企業(yè)。
北方華創(chuàng)擁有半導(dǎo)體裝備、真空裝備、新能源鋰電裝備及精密元器件四個(gè)事業(yè)群,為半導(dǎo)體、新能源、新材料等領(lǐng)域提供解決方案。公司現(xiàn)有四大產(chǎn)業(yè)制造基地,營銷服務(wù)體系覆蓋歐、美、亞等全球主要國家和地區(qū)。
氧化爐、刻蝕機(jī)、薄膜沉積設(shè)備和清洗設(shè)備領(lǐng)域能力較強(qiáng)
>氧化爐:2017年11月30日,北方華創(chuàng)下屬子公司北方華創(chuàng)微電子自主研發(fā)的12英寸立式氧化爐THEORISO302MoveIn長江存儲生產(chǎn)線,應(yīng)用于3DNANDFlash制程,擴(kuò)展了國產(chǎn)立式氧化爐的應(yīng)用領(lǐng)域。
>刻蝕機(jī):2016年研發(fā)出了14nm工藝的硅刻蝕機(jī),目前正在中芯國際研發(fā)的14nm工藝上驗(yàn)證使用。2017年11月,研發(fā)的中國首臺適用于8英寸晶圓的金屬刻蝕機(jī)成功搬入中芯國際的產(chǎn)線。
>薄膜沉積設(shè)備:28nm級別的PVD設(shè)備和單片退火設(shè)備領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了批量出貨,14nm級別的ALD,ALPVD,LPCVD,HMPVD等多種生產(chǎn)設(shè)備正在產(chǎn)線驗(yàn)證中。
>清洗機(jī):自研的12英寸單片清洗機(jī)產(chǎn)品主要應(yīng)用于集成電路芯片制程,2017年8月7日成功收購Akrion公司后,北方華創(chuàng)微電子的清洗機(jī)產(chǎn)品線將得以補(bǔ)充,形成涵蓋應(yīng)用于集成電路、先進(jìn)封裝、功率器件、微機(jī)電系統(tǒng)和半導(dǎo)體照明等半導(dǎo)體領(lǐng)域的8-12英寸批式和單片清洗機(jī)產(chǎn)品線。
5、中微半導(dǎo)體:在介質(zhì)刻蝕機(jī)、硅通孔刻蝕機(jī)以及LED用MOCVD領(lǐng)域能力較強(qiáng)
中微的設(shè)備用于創(chuàng)造世界上最為復(fù)雜、精密的技術(shù):微小的納米器件為創(chuàng)新型產(chǎn)品提供智能和存儲功能,從而改善人類的生活、實(shí)現(xiàn)全球的可持續(xù)發(fā)展。中微總部位于亞洲。作為世界制造創(chuàng)新中心,亞洲具有得天獨(dú)厚的優(yōu)勢:極具活力的供應(yīng)鏈大大提高了中微的運(yùn)營效率。
介質(zhì)刻蝕機(jī)、硅通孔刻蝕機(jī)以及LED用MOCVD領(lǐng)域能力較強(qiáng)
>介質(zhì)刻蝕機(jī):目前已經(jīng)可以做到22nm及其以下,14nm也在產(chǎn)線進(jìn)行驗(yàn)證,同時(shí)在推進(jìn)5nm的聯(lián)合研究。
>硅通孔刻蝕機(jī):主要用于集成電路芯片的TSV先進(jìn)封裝。
>MOCVD:公司的MOCVD達(dá)到世界先進(jìn)水平,實(shí)現(xiàn)了對美國的VEECO和德國的愛思強(qiáng)產(chǎn)品的進(jìn)口替代,客戶為三安光電等led芯片廠商。截止2017年10月,其MOCVD設(shè)備PrismoA7機(jī)型出貨量已突破100臺。
6、上海微電子
上海微電子裝備(集團(tuán))股份有限公司(簡稱SMEE)主要致力于半導(dǎo)體裝備、泛半導(dǎo)體裝備、高端智能裝備的開發(fā)、設(shè)計(jì)、制造、銷售及技術(shù)服務(wù)。公司設(shè)備廣泛應(yīng)用于集成電路前道、先進(jìn)封裝、FPD面板、MEMS、LED、Power Devices等制造領(lǐng)域。
國內(nèi)唯一的一家從事光刻機(jī)研發(fā)制造的公司。目前制造用光刻機(jī)只能做到90nm,與主流65nm以下還有較大差距。不過,封裝使用的光刻機(jī),達(dá)到1-2微米就可以使用,上海微電子研發(fā)制造的500系列步進(jìn)投影光刻機(jī),面向IC后道封裝和MEMS/NEMS制造領(lǐng)域,國內(nèi)市場占有率達(dá)80%以上。
7、北京京運(yùn)通:產(chǎn)品主要應(yīng)用于光伏產(chǎn)業(yè)
北京京運(yùn)通科技股份有限公司成立于2002年8月8日,是一家以高端裝備制造、新材料、新能源發(fā)電和節(jié)能環(huán)保四大產(chǎn)業(yè)綜合發(fā)展的集團(tuán)化企業(yè),主導(dǎo)產(chǎn)品包括單晶硅生長爐、多晶硅鑄錠爐、區(qū)熔爐等光伏及半導(dǎo)體設(shè)備,多晶硅錠及硅片、直拉單晶硅棒及硅片、區(qū)熔單晶硅棒及硅片等光伏產(chǎn)品,光伏發(fā)電和風(fēng)力發(fā)電等新能源發(fā)電項(xiàng)目及蜂窩式中低溫SCR煙氣脫硝催化劑。
公司于2011年9月8日在上海證券交易所成功上市,股票簡稱:京運(yùn)通,股票代碼:601908。截至2017年末,公司總資產(chǎn)134.51億元人民幣,凈資產(chǎn)65.86億元人民幣。2017年度,公司實(shí)現(xiàn)營業(yè)收入19.17億元人民幣,實(shí)現(xiàn)凈利潤3.70億元人民幣。
8、天通吉成:產(chǎn)品主要應(yīng)用于光伏產(chǎn)業(yè)
天通吉成機(jī)器技術(shù)有限公司是天通控股股份有限公司(證券代碼: 600330)控股的從事機(jī)械裝備整機(jī)制造的技術(shù)密集型中外合資集團(tuán)化、無區(qū)域性企業(yè)。
9、盛美半導(dǎo)體
盛美半導(dǎo)體設(shè)備(上海)有限公司成立于2005年5月,是一家注冊于中國上海張江高科技園區(qū)的、具備世界領(lǐng)先技術(shù)的半導(dǎo)體設(shè)備制造商,公司在華投資逾三億。是中國一家專注于集成電路制造產(chǎn)業(yè)中電鍍銅設(shè)備、拋銅設(shè)備、單晶圓清洗設(shè)備的研發(fā)及生產(chǎn)的公司。
在清洗機(jī)領(lǐng)域能力較強(qiáng)。公司的SAPS技術(shù)最高可以應(yīng)用于65nm制程的硅片清洗;TEBO技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)對FinFET,DRAM,3DNAND,實(shí)現(xiàn)覆蓋16nm-19nm的制程,產(chǎn)品已經(jīng)批量應(yīng)用于上海華力微電子的產(chǎn)線。此外,公司2017年5月在合肥投資3000萬美元建立研發(fā)中心,與合肥長鑫和兆易創(chuàng)新一起開發(fā)DRAM技術(shù)。
10、格蘭達(dá)
格蘭達(dá)技術(shù)(深圳)有限公司是格蘭達(dá)科技集團(tuán)的研發(fā)中心和制造中心。配備了數(shù)百臺精密數(shù)控加工中心(MAZAK, MAKINO, FANUC, MORISEIKI, AMADA等),形成了研發(fā)、設(shè)計(jì)、生產(chǎn)、制造(模具、鈑金、壓鑄、涂裝及裝配)等全套集成能力,成為世界一流的半導(dǎo)體、IT、OA、光學(xué)、通訊等領(lǐng)域客戶的供應(yīng)商。目前已取得多項(xiàng)自主知識產(chǎn)權(quán)和專利。格蘭達(dá)的產(chǎn)品和解決方案已經(jīng)應(yīng)用于數(shù)十家全球知名半導(dǎo)體公司和世界500強(qiáng)企業(yè)。
總結(jié)
全球半導(dǎo)體設(shè)備十強(qiáng)里面,只有美日荷三個(gè)國家的企業(yè)入圍。2016年前五大廠商應(yīng)用材料、ASML、LamResearch、TokyoElectron和KLA-Tencor合計(jì)市場份額高達(dá)92%,其中應(yīng)用材料AMAT市場占有率為24%。
荷蘭ASML幾乎壟斷了高端領(lǐng)域的光刻機(jī),市場份額高達(dá)80%。ASML新出的EUV光刻機(jī)可用于試產(chǎn)7nm制程,價(jià)格高達(dá)1億美元。AMAT在CVD設(shè)備和PVD設(shè)備領(lǐng)域都保持領(lǐng)先,LamResearch是刻蝕機(jī)設(shè)備領(lǐng)域龍頭。
隨著我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)持續(xù)快速發(fā)展,國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)呈現(xiàn)出較快發(fā)展的勢頭。在國家科技重大專項(xiàng)以及各地方政府、科技創(chuàng)新專項(xiàng)的大力支持下,國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備銷售快速穩(wěn)步增長,多種產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)從無到有的突破,甚至有些已經(jīng)通過考核進(jìn)入批量生產(chǎn),在國內(nèi)集成電路大生產(chǎn)線上運(yùn)行使用。