資訊動(dòng)態(tài)
行業(yè)動(dòng)態(tài)
目前國(guó)內(nèi)12英寸晶圓幾乎全部靠進(jìn)口,國(guó)內(nèi)的12英寸硅片月生產(chǎn)量約5萬(wàn)片。由于晶圓廠建好后,可能要面臨無(wú)米下鍋的局面。為了彌補(bǔ)半導(dǎo)體硅晶圓的供應(yīng)缺口,降低進(jìn)口仰賴(lài)程度,我國(guó)正積極邁向8英寸與12英寸硅片生產(chǎn),多項(xiàng)重大投資正在啟動(dòng)中,大都鎖定12英寸硅晶圓,當(dāng)然8英寸項(xiàng)目也不少。
芯思想研究院對(duì)國(guó)內(nèi)的大硅片生產(chǎn)布局進(jìn)行了調(diào)研整理。
芯思想研究院調(diào)研發(fā)現(xiàn),目前宣布的12英寸硅片項(xiàng)目多達(dá)20個(gè),根據(jù)各家公司公布情況來(lái)看,總投資金額超過(guò)1400億,12英寸硅片總規(guī)劃月產(chǎn)能到2023年前后合計(jì)超過(guò)650萬(wàn)片,如果加上天芯硅片、中芯環(huán)球、濟(jì)南項(xiàng)目,12英寸硅片總規(guī)劃月產(chǎn)能將可能高達(dá)800萬(wàn)片,約是2018年全球12英寸硅片月需求的2倍。
目前,國(guó)產(chǎn)硅片供應(yīng)商主要是集中在供應(yīng)8英寸及以下硅片,無(wú)法滿足主流需求。國(guó)內(nèi)大硅片牢牢掌控在海外廠家手中,這對(duì)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)國(guó)產(chǎn)化而言始終是一大隱患。因此,推動(dòng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展,上游材料端必須與之配套加快國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程。2016年《中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)“十三五”發(fā)展規(guī)劃建議》中提出,在材料領(lǐng)域,力爭(zhēng)到2020年關(guān)鍵材料產(chǎn)業(yè)化技術(shù)水平達(dá)到40-28nm工藝要求,實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化,部分專(zhuān)業(yè)領(lǐng)域推進(jìn)到20-14nm,培育2-3家材料企業(yè)成為全球知名品牌。
中國(guó)大陸多個(gè)12英寸大硅片項(xiàng)目開(kāi)工建設(shè),將引發(fā)人才搶奪大戰(zhàn)。全球12英寸大硅片人才本就缺乏,如何做好人才引智工作將是考驗(yàn)各個(gè)項(xiàng)目成敗的關(guān)鍵。
大硅片項(xiàng)目情況
硅產(chǎn)業(yè)集團(tuán)
1.上海新昇半導(dǎo)體科技有限公司
上海新昇半導(dǎo)體科技有限公司(上海新昇)成立于2014年6月,致力于在我國(guó)研究、開(kāi)發(fā)適用于尖端工藝節(jié)點(diǎn)的12英寸硅單晶生長(zhǎng)、硅片加工、外延片制備、硅片分析檢測(cè)等硅片產(chǎn)業(yè)化成套量產(chǎn)工藝,建設(shè)12英寸半導(dǎo)體硅片的生產(chǎn)基地,實(shí)現(xiàn)12英寸半導(dǎo)體硅片的國(guó)產(chǎn)化。
項(xiàng)目總投資68億元,其中一期總投資23億元,專(zhuān)注40-28nm工藝節(jié)點(diǎn)的12英寸硅單晶生長(zhǎng)、硅片加工、外延片制備。
2016年10月成功拉出第一根12英寸單晶硅錠。
2017年打通12英寸硅片全工藝流程,從2017年第二季度已經(jīng)開(kāi)始向中芯國(guó)際等芯片代工企業(yè)提供40-28nm工藝節(jié)點(diǎn)12英寸硅片樣片進(jìn)行認(rèn)證,并有擋片、陪片、測(cè)試片等產(chǎn)品持續(xù)銷(xiāo)售,正式出貨并實(shí)現(xiàn)小批量銷(xiāo)售。
2018年實(shí)現(xiàn)了12英寸硅片的規(guī)模化生產(chǎn);一季度末,通過(guò)上海華力微電子有限公司的認(rèn)證并開(kāi)始銷(xiāo)售。2018年實(shí)現(xiàn)收入超過(guò)2億元。在第一期月產(chǎn)能10萬(wàn)硅片產(chǎn)能建設(shè)完成的同時(shí),啟動(dòng)第二個(gè)月產(chǎn)能10萬(wàn)硅片產(chǎn)能的建設(shè)。
目前正在研發(fā)20-14nm工藝節(jié)點(diǎn)12英寸硅片,規(guī)劃建設(shè)月產(chǎn)能達(dá)5萬(wàn)片20-14nm工藝節(jié)點(diǎn)12英寸硅片生產(chǎn)線。
預(yù)估2019年實(shí)現(xiàn)月產(chǎn)能20萬(wàn)片,2020年底實(shí)現(xiàn)月產(chǎn)能30萬(wàn)片,最終將形成月產(chǎn)60萬(wàn)片12英寸硅片的產(chǎn)能。未來(lái)甚至可能高達(dá)月產(chǎn)100萬(wàn)片規(guī)模。
2. 新傲科技
2016年,新傲科技宣布首個(gè)采用Soitec專(zhuān)有Smart Cut技術(shù)制作的200mm SOI晶圓在上海生產(chǎn)成功,經(jīng)過(guò)擴(kuò)產(chǎn),目前年產(chǎn)能已達(dá)18萬(wàn)片。
為了更好地服務(wù)全球市場(chǎng)對(duì)RF-SOI和Power-SOI產(chǎn)品的增長(zhǎng)性需求,2019年2月,新傲科技宣布擴(kuò)大200mm SOI晶圓年產(chǎn)量,從年產(chǎn)18萬(wàn)片增加至36萬(wàn)片。
同時(shí),新傲科技還在規(guī)劃12英寸SOI生產(chǎn)線,為未來(lái)毫米波射頻器件和FD-SOI做好準(zhǔn)備。
超硅半導(dǎo)體
1.上海超硅半導(dǎo)體有限公司
2018年7月30日,上海超硅半導(dǎo)體有限公司12英寸全自動(dòng)智能化生產(chǎn)線項(xiàng)目開(kāi)工建設(shè)。該項(xiàng)目一期投資60億元,建設(shè)周期為1.5年,預(yù)計(jì)2019年9月設(shè)備搬入,2019年12月產(chǎn)品下線。
總投資預(yù)計(jì)達(dá)到100億元。據(jù)悉,還將建設(shè)18英寸中試生產(chǎn)線,項(xiàng)目建成后將形成年產(chǎn)360萬(wàn)片12英寸硅片和外延片以及12萬(wàn)片18英寸拋片生產(chǎn)能力。
另外上海超硅半導(dǎo)體有限公司持有重慶超硅半導(dǎo)體有限公司7.35%、成都超硅半導(dǎo)體有限公司5%的股份。
2.重慶超硅半導(dǎo)體有限公司
重慶超硅項(xiàng)目總投資50億元,分三期建設(shè),三期建設(shè)完成達(dá)產(chǎn)后將實(shí)現(xiàn)月產(chǎn)50萬(wàn)片8英寸硅片和月產(chǎn)5萬(wàn)片12英寸硅片的產(chǎn)能。
一期項(xiàng)目投資20億元,主要生產(chǎn)極大規(guī)模集成電路用8英寸/12英寸單晶硅晶體生長(zhǎng)、硅片拋光及其延伸產(chǎn)品,建設(shè)年產(chǎn)180萬(wàn)片硅片的產(chǎn)能。
一期項(xiàng)目于2014年5月開(kāi)工,2016年4月投入試生產(chǎn);2016年5月第一根集成電路級(jí)8英寸單晶硅棒成功拉出;2016年9月第一根集成電路級(jí)12英寸單晶硅棒成功拉出;2016年10月28日 第一批集成電路級(jí)單晶硅晶體生長(zhǎng)和拋光片順利下線;2016年底成功實(shí)現(xiàn)8英寸硅片加工整線試生產(chǎn)、12英寸晶體生長(zhǎng),同時(shí)啟動(dòng)了12英寸硅片加工生產(chǎn)線建設(shè);2017年1月20日第一批8英寸硅片產(chǎn)品出廠發(fā)貨;2018年3月,在SEMICON CHINA2018上展示了國(guó)內(nèi)第一根18英寸集成電路用單晶硅棒。至此,公司已經(jīng)完成8英寸、12英寸、18英寸單晶硅棒的拉制工作。
重慶超硅的8英寸硅片已經(jīng)供不應(yīng)求,2018年安裝多套關(guān)鍵設(shè)備,2018年底月產(chǎn)能超過(guò)10萬(wàn)片;12英寸硅片目前已經(jīng)在廠商驗(yàn)證,2018年底形成25000片的產(chǎn)能。
3.成都超硅半導(dǎo)體有限公司
2017年8月云南城投集團(tuán)與邛崍市人民政府簽署《成都超硅半導(dǎo)體生產(chǎn)基地項(xiàng)目》協(xié)議,協(xié)議中商定將在邛崍市建設(shè)超硅半導(dǎo)體生產(chǎn)基地。
項(xiàng)目總投資50億元,主要建設(shè)兩條12英寸晶圓生產(chǎn)線。,項(xiàng)目達(dá)產(chǎn)后,可實(shí)現(xiàn)月產(chǎn)50萬(wàn)片12英寸硅片的產(chǎn)能。
項(xiàng)目于2018年3月31日舉行開(kāi)工典禮,還沒(méi)有進(jìn)行實(shí)質(zhì)建設(shè)。
中環(huán)半導(dǎo)體
中環(huán)股份的8-12英寸大硅片項(xiàng)目,晶體生長(zhǎng)環(huán)節(jié)在內(nèi)蒙古呼和浩特,拋光片環(huán)節(jié)在天津和江蘇宜興。
1. 天津中環(huán)領(lǐng)先材料技術(shù)有限公司
中環(huán)領(lǐng)先的8英寸半導(dǎo)體區(qū)熔硅片實(shí)現(xiàn)量產(chǎn),產(chǎn)能已陸續(xù)釋放,進(jìn)一步確立了公司在區(qū)熔拋光片市場(chǎng)的地位。2018年未公司8英寸拋光片月產(chǎn)能已達(dá)到30萬(wàn)片,年產(chǎn)量為 3.8億平方英寸;8寸區(qū)熔單晶硅片主要是滿足IGBT 器件領(lǐng)域。
12英寸拋光片試驗(yàn)線實(shí)現(xiàn)月產(chǎn)能2萬(wàn)片,是中國(guó)大陸第一家、全球第三家做12英寸功率硅片的工廠,目前有約10家客戶在認(rèn)證。
2.中環(huán)領(lǐng)先半導(dǎo)體材料有限公司
2017年10 月12日,中環(huán)股份、晶盛機(jī)電、無(wú)錫市政府簽署戰(zhàn)略合作協(xié)議,三方或以產(chǎn)業(yè)基金形式確定項(xiàng)目投資主體,共同在無(wú)錫宜興啟動(dòng)建設(shè)集成電路用大硅片生產(chǎn)與制造項(xiàng)目。2019年中環(huán)領(lǐng)先集成電路用大硅片項(xiàng)目入選江蘇省級(jí)重大產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目。
中環(huán)領(lǐng)先集成電路項(xiàng)目,總投資約30億美元,分兩期實(shí)施,由三方共同出資:天津中環(huán)半導(dǎo)體股份有限公司和中環(huán)香港控股有限公司合計(jì)出資60%,無(wú)錫產(chǎn)業(yè)發(fā)展集團(tuán)旗下錫投產(chǎn)業(yè)(香港)有限公司出資30%,浙江晶盛機(jī)電股份有限公司出資10%。
2017年12月14日注冊(cè)成立項(xiàng)目公司--中環(huán)領(lǐng)先半導(dǎo)體材料有限公司(中環(huán)領(lǐng)先)。
2017年12月28日,項(xiàng)目一期開(kāi)工建設(shè),投資15億美元,其中裝備投入60億元,建設(shè)兩條8英寸生產(chǎn)線,月產(chǎn)能75萬(wàn)片;一條12英寸試驗(yàn)線,月產(chǎn)能2萬(wàn)片;一條12英寸生產(chǎn)線,月產(chǎn)能15萬(wàn)片。
項(xiàng)目一期于2019年2月進(jìn)行試生產(chǎn)8英寸硅片,7月將進(jìn)行規(guī)模化投產(chǎn);12英寸功率硅片生產(chǎn)線將在2019年下半年進(jìn)行設(shè)備安裝調(diào)試。
項(xiàng)目二期將于2020年開(kāi)工建設(shè),投資15億美元,建設(shè)兩條12英寸生產(chǎn)線,月產(chǎn)能35萬(wàn)片。
整個(gè)項(xiàng)目投產(chǎn)以后將實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)8英寸拋光片900萬(wàn)片和12英寸拋光片600萬(wàn)片的產(chǎn)能。
立昂微電子
1.浙江金瑞泓科技股份有限公司
浙江金瑞泓科技股份有限公司是一家致力于半導(dǎo)體材料研發(fā)與生產(chǎn)的高新技術(shù)企業(yè),是8具有硅單晶錠、硅研磨片、硅拋光片、硅外延片、芯片制造的完整產(chǎn)業(yè)鏈的半導(dǎo)體企業(yè)。擁有完備的4英寸、5英寸、6英寸及8英寸硅片產(chǎn)品結(jié)構(gòu),形成了集成電路與分立器件、輕摻雜與重?fù)诫s、拋光片與外延片并重的特色。硅片年產(chǎn)能達(dá)到近800萬(wàn)片,可以生產(chǎn)5000多種技術(shù)規(guī)格的硅片產(chǎn)品。
2010年,牽頭承擔(dān)“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”國(guó)家科技重大專(zhuān)項(xiàng),并于2017年5月通過(guò)國(guó)家驗(yàn)收,具備了8英寸硅片月產(chǎn)12萬(wàn)片的大規(guī)模產(chǎn)業(yè)化能力,掌握了12英寸硅片核心技術(shù)。
2009年公司率先打破我國(guó)8英寸硅片全部依賴(lài)進(jìn)口的局面,實(shí)現(xiàn)8英寸硅片正式銷(xiāo)售。擁有減壓充氮直拉硅單晶、微量摻鍺直拉硅單晶及重?fù)搅?、硼、銻、砷硅單晶成套技術(shù)等數(shù)項(xiàng)具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的核心技術(shù)及獨(dú)特的技術(shù)訣竅。
公司是ONSEMI(安森美)、AOS(萬(wàn)代)、TOSHIBA(東芝)、NXP(恩智普)等國(guó)際知名半導(dǎo)體公司的穩(wěn)定供應(yīng)商,也是中芯國(guó)際、華虹宏力、華潤(rùn)上華、中航微電子、杭州士蘭微等國(guó)內(nèi)主要半導(dǎo)體企業(yè)的重要供應(yīng)商。
2.金瑞泓科技(衢州)有限公司
金瑞泓科技(衢州)有限公司項(xiàng)目規(guī)劃總投資50億元,建成月產(chǎn)40萬(wàn)片8英寸硅片和月產(chǎn)10萬(wàn)片12英寸硅片的項(xiàng)目規(guī)模。
項(xiàng)目計(jì)劃分三期逐步實(shí)施。一期總投資約7億元,建設(shè)周期為2017年至2019年,用地100畝,計(jì)劃2017年建成月產(chǎn)10萬(wàn)片8英寸硅外延片項(xiàng)目;二三期項(xiàng)目總投資43億元,用地120畝,將形成月產(chǎn)30萬(wàn)片8英寸硅片項(xiàng)目生產(chǎn)線和月產(chǎn)10萬(wàn)片12英寸硅片項(xiàng)目生產(chǎn)線,填補(bǔ)國(guó)內(nèi)12英寸硅片生產(chǎn)線的空白。
2017年一期項(xiàng)目主體廠房已經(jīng)建成,8英寸硅外延生產(chǎn)線在2018年4月建成投產(chǎn)并實(shí)現(xiàn)批量銷(xiāo)售,8英寸的單晶、切、磨、拋廠房將在2019年三季度建成投產(chǎn),屆時(shí)將全線拉通8英寸硅單晶、硅拋光片、硅外延片生產(chǎn)線。
3.金瑞泓微電子(衢州)有限公司
2018年5月30日,由杭州立昂微電子股份有限公司投資83億元、年產(chǎn)360萬(wàn)片集成電路用12英寸硅片項(xiàng)目正式簽約。
2018年9月19日,項(xiàng)目承擔(dān)單位金瑞泓微電子(衢州)有限公司成立,并引入上游多晶硅企業(yè)青海黃河上游水電開(kāi)發(fā)有限責(zé)任公司作為股東。
項(xiàng)目一期投資35億元,租用金瑞泓科技(衢州)有限公司約70畝土地及地面約4萬(wàn)平方米左右廠房,建設(shè)年產(chǎn)180萬(wàn)片集成電路用12英寸硅片項(xiàng)目。二期投資48億元,建設(shè)年產(chǎn)180萬(wàn)片集成電路用12英寸硅片項(xiàng)目。
2019年7月2日,首根12英寸半導(dǎo)體級(jí)硅單晶棒順利出爐。
山東有研半導(dǎo)體材料有限公司
2018年7月26日,山東有研半導(dǎo)體材料有限公司落戶德州,是有研半導(dǎo)體材料有限公司投資的大硅片項(xiàng)目。項(xiàng)目已經(jīng)入選2019年山東省重點(diǎn)建設(shè)項(xiàng)目名單和山東省新舊動(dòng)能轉(zhuǎn)換重大項(xiàng)目庫(kù)。
項(xiàng)目總投資80億元,分兩期進(jìn)行建設(shè)。
一期建設(shè)項(xiàng)目總投資18億元,分為兩大部分,一是搬遷北京的舊產(chǎn)線(包括8英寸、6英寸產(chǎn)線),二是新上一條年產(chǎn)180萬(wàn)片8英寸硅片生產(chǎn)線。
一期項(xiàng)目于2019年3月開(kāi)工,目前正在進(jìn)行樁基施工,計(jì)劃2020年底投產(chǎn)。項(xiàng)目全部達(dá)產(chǎn)后,可年產(chǎn)8英寸硅片276萬(wàn)片、6英寸硅片180萬(wàn)片、大直徑硅單晶300噸。
二期項(xiàng)目計(jì)劃投資62億元,建設(shè)年產(chǎn)360萬(wàn)片12英寸硅片,將于明年初開(kāi)工,2021年底建成投產(chǎn)。
申和熱磁
1. 杭州中芯晶圓半導(dǎo)體股份有限公司
杭州中芯晶圓半導(dǎo)體股份有限公司成立于2017年9月28日,由于上海申和熱磁電子有限公司、杭州大和熱磁電子有限公司、株式會(huì)社フェローテックホールディングス聯(lián)合成立。
2017年12月18日,項(xiàng)目正式開(kāi)工,一期項(xiàng)目包括三條8英寸、兩條12英寸(300mm)半導(dǎo)體硅片生產(chǎn)線。建設(shè)月產(chǎn)35萬(wàn)片8英寸硅片項(xiàng)目和月產(chǎn)20萬(wàn)片12英寸硅片項(xiàng)目,總投資60億元。
2018年5月28日,中建一局建設(shè)發(fā)展公司中標(biāo)杭州中芯晶圓半導(dǎo)體股份有限公司半導(dǎo)體大硅片項(xiàng)目施工總承包工程。該項(xiàng)目位于杭州市蕭山區(qū)大江東產(chǎn)業(yè)集聚區(qū),廠區(qū)建筑物占地面積約5.7萬(wàn)平方米,建筑總面積約為17.8萬(wàn)平方米,其中包括1#生產(chǎn)調(diào)度廠房(FAB)、2#切磨拋廠房1(FAB1)、3#切磨拋廠房2(FAB2)、4#動(dòng)力站及廢水站(CUB)和其他附屬棟建筑。
2019年6月試投產(chǎn),首批8英寸硅拋光片順利下線。
2.寧夏銀和半導(dǎo)體科技有限公司
寧夏銀和半導(dǎo)體科技有限公司成立于2015年12月14日,是杭州中芯晶圓半導(dǎo)體股份有限公司的全資子公司。
2016年4月12日,寧夏銀和半導(dǎo)體科技有限公司開(kāi)工,項(xiàng)目總投資31億元。
2017年7月6日,一期項(xiàng)目年產(chǎn)180萬(wàn)片8英寸硅片項(xiàng)目正式竣工投產(chǎn)。
2018年3月18日,總投資60億元的二期項(xiàng)目開(kāi)工,項(xiàng)目建成后,可年產(chǎn)420萬(wàn)片8英寸硅片和年產(chǎn)240萬(wàn)片12英寸硅片。
鄭州合晶硅材料有限公司
鄭州合晶硅材料有限公司成立于2017年2月23日,是上海合晶硅材料有限公司的全資子公司。
鄭州合晶項(xiàng)目計(jì)劃總投資57億元。項(xiàng)目共分兩期實(shí)施,一期投資12億元,建設(shè)滿足月產(chǎn)能20萬(wàn)片8英寸硅片,二期投資45億元,建設(shè)滿足產(chǎn)能為月產(chǎn)20萬(wàn)片12英寸硅片和月產(chǎn)外延片7萬(wàn)片。
一期于2017年7月27日開(kāi)工建設(shè),2018年6月25日完成首根200毫米單晶硅棒的拉制,2018年10月26日一期200毫米硅單晶生產(chǎn)線的全面竣工投產(chǎn)。
注:由于臺(tái)灣合晶股份都還沒(méi)有能力生產(chǎn)12英寸硅片,估計(jì)二期的12英寸的路還很漫長(zhǎng)。
安徽易芯半導(dǎo)體有限公司
易芯半導(dǎo)體通過(guò)多年的自主研發(fā),成功開(kāi)發(fā)出我國(guó)第一臺(tái)12英寸半導(dǎo)體級(jí)單晶硅晶體生長(zhǎng)爐與全自動(dòng)控制系統(tǒng),掌握了國(guó)際領(lǐng)先的大直徑單晶硅棒生長(zhǎng)技術(shù)與硅片產(chǎn)業(yè)化經(jīng)驗(yàn)。
2015年12月,易芯半導(dǎo)體自主研發(fā)的12英寸芯片級(jí)單晶硅片通過(guò)了國(guó)家有色金屬及電子材料分析測(cè)試中心的檢測(cè),送樣產(chǎn)品核心參數(shù)均通過(guò)測(cè)試,相關(guān)指標(biāo)達(dá)到國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)。
2017年7月,易芯半導(dǎo)體一期項(xiàng)目實(shí)現(xiàn)八條12英寸單晶硅棒生產(chǎn)線的批量生產(chǎn),年生產(chǎn)12英寸單晶硅棒170噸(成品)。
盡管易芯半導(dǎo)體掌握了大直徑單晶硅棒生長(zhǎng)技術(shù),但目前還沒(méi)有形成切磨拋的能力,公司正在積極籌措資金以布局切磨拋產(chǎn)能。
西安奕斯偉硅片技術(shù)有限公司
2017年12月9日,奕斯偉硅產(chǎn)業(yè)基地項(xiàng)目簽約。西安高新區(qū)與北京芯動(dòng)能公司、北京奕斯偉公司三方共同簽署了硅產(chǎn)業(yè)基地項(xiàng)目投資合作意向書(shū)。根據(jù)意向書(shū),該項(xiàng)目總投資110億元,預(yù)期達(dá)產(chǎn)后將形成月產(chǎn)50萬(wàn)片12英寸硅片的產(chǎn)能;最終目標(biāo)成為月產(chǎn)能100萬(wàn)片。
2018年2月9日,項(xiàng)目承擔(dān)單位西安奕斯偉硅片技術(shù)有限公司成立,是西安奕斯偉材料技術(shù)有限公司全資子公司,而西安奕斯偉材料技術(shù)有限公司是北京奕斯偉科技有限公司的全資子公司。
2018年7月7日參加“西安2018年第二批擴(kuò)大有效投資重大項(xiàng)目集中開(kāi)工儀式”。
2019年1月17日,1號(hào)生產(chǎn)廠房、2號(hào)拉晶廠房順利封頂;7月15日項(xiàng)目用110KV變電站投運(yùn),設(shè)備將開(kāi)始聯(lián)機(jī)調(diào)試,標(biāo)志著項(xiàng)目進(jìn)入投產(chǎn)倒計(jì)時(shí)。
四川經(jīng)略長(zhǎng)豐半導(dǎo)體有限公司
2018年3月22日,四川經(jīng)略長(zhǎng)豐半導(dǎo)體有限公司8/12英寸硅片項(xiàng)目開(kāi)工。項(xiàng)目分兩期建設(shè),其中一期工程計(jì)劃于一年內(nèi)完工。達(dá)產(chǎn)后,形成月產(chǎn)10萬(wàn)片8英寸和月產(chǎn)40萬(wàn)片12英寸硅片的生產(chǎn)能力。
根據(jù)《四川經(jīng)略長(zhǎng)豐半導(dǎo)體有限公司集成電路用8/12英寸硅片產(chǎn)品項(xiàng)目環(huán)境影響評(píng)價(jià)第一次公示》信息表明,項(xiàng)目總投資50億元,投資方是深圳經(jīng)略長(zhǎng)豐投資管理有限公司。
2019年3月開(kāi)始討論項(xiàng)目用110KV變電站方案設(shè)計(jì)及預(yù)算。
廣西啟世半導(dǎo)體有限公司
2018年9月12日,廣西啟世半導(dǎo)體有限公司年產(chǎn)1440萬(wàn)片集成電路用12英寸大硅片項(xiàng)目(中馬大硅片項(xiàng)目)落戶廣西欽州。
作為第十五屆中國(guó)—東盟博覽會(huì)國(guó)內(nèi)經(jīng)濟(jì)合作項(xiàng)目集中簽約項(xiàng)目之一,中馬大硅片項(xiàng)目落戶于中馬欽州產(chǎn)業(yè)園,總投資30億美元,主要建設(shè)12英寸大硅片生產(chǎn)線。項(xiàng)目計(jì)劃分三期建設(shè),其中一期總投資10億美元,建設(shè)四條生產(chǎn)線,年產(chǎn)480萬(wàn)片12英寸大硅片。
據(jù)查,廣西啟世半導(dǎo)體有限公司成立于2018年5月29日,董事長(zhǎng)是金成默,總經(jīng)理是CHO KWAN SIK。投資方是深圳啟世投資有限公司,成立于2018年8月21日。
注:此項(xiàng)目存在非常大的不確定性。
中晶(嘉興)半導(dǎo)體有限公司
2019年1月19日中晶大硅片項(xiàng)目簽約嘉興科技城,項(xiàng)目總投資110億元,年產(chǎn)1200萬(wàn)片12英寸大硅片。項(xiàng)目分兩期建設(shè),其中一期投資60億元,年產(chǎn)480萬(wàn)片12英寸大硅片。
據(jù)悉 ,2019年2月28日該項(xiàng)目簽訂土地出讓合同,4月12日取得建筑工程施工許可證并進(jìn)場(chǎng)施工。
截至2019年6月底,中晶大硅片項(xiàng)目已建設(shè)投資4.3億元,其中設(shè)備投入3.39億元。
各廠房樁基工程已經(jīng)完成,預(yù)計(jì)2019年12月一期土建基本完成,2020年開(kāi)始進(jìn)行廠房裝修,2020年7月,項(xiàng)目一期廠房竣工投入使用,全部工程預(yù)計(jì)在2024年6月完成。
2019年7月入列2019年度浙江省第一批特別重大產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目。
江蘇睿芯晶半導(dǎo)體科技有限公司投資
2019年3月項(xiàng)目簽約,計(jì)劃首期總投資約3億美金,建設(shè)12英寸半導(dǎo)體硅片月產(chǎn)能10萬(wàn)片。
目前沒(méi)有任何實(shí)質(zhì)進(jìn)展。
天芯硅片制造(湖北)有限公司
天芯硅片制造(湖北)有限公司成立于2019年1月。
據(jù)悉,廠房招標(biāo)工程于2019年4月完成。
中芯環(huán)球科技有限公司
中芯環(huán)球于2019年7月成立,目前正在與多地洽談硅片項(xiàng)目。
該公司和泉芯集成電路制造(濟(jì)南)有限公司有密切關(guān)系。中芯環(huán)球的總經(jīng)理鐘雄鷹是泉芯集成的董事長(zhǎng),中芯環(huán)球的副總經(jīng)理曹山是泉芯集成的總經(jīng)理。
濟(jì)南大硅片項(xiàng)目
山東省會(huì)濟(jì)南市念念不忘大硅片項(xiàng)目。從2018年至2019年多次組織大硅片項(xiàng)目認(rèn)證會(huì)。
中國(guó)電子級(jí)多晶硅布局
電子級(jí)多晶硅是集成電路產(chǎn)業(yè)上游核心原材料,我國(guó)政府雄心勃勃的發(fā)展規(guī)劃以及各大企業(yè)對(duì)大硅片項(xiàng)目的投資,將驅(qū)動(dòng)電子級(jí)硅材料向前發(fā)展。2016年國(guó)家強(qiáng)基工程還支持了洛陽(yáng)中硅高科技有限公司和江蘇鑫華半導(dǎo)體材料有限公司發(fā)展電子級(jí)多晶硅,引導(dǎo)行業(yè)提升整體競(jìng)爭(zhēng)能力。
目前國(guó)內(nèi)從事電子級(jí)多晶硅材料研發(fā)生產(chǎn)的企業(yè)主要有青海黃河上游電子級(jí)多晶水電開(kāi)發(fā)有限公司新能源公司(黃河新能源)、云南冶金云芯硅材股份有限公司(云冶芯材)、江蘇鑫華半導(dǎo)體材料科技有限公司(鑫華半導(dǎo)體)、洛陽(yáng)中硅高新科技有限公司(洛陽(yáng)中硅)、宜昌南玻硅材料有限公司(宜昌南玻),而新疆大全新能源股份有限公司(新疆大全)、新特能源股份有限公司(新特能源)等也在布局電子級(jí)多晶硅生產(chǎn)線。
目前黃河新能源、鑫華半導(dǎo)體、云冶芯材、洛陽(yáng)中硅、宜昌南玻五家企業(yè)都發(fā)布了電子級(jí)多晶硅產(chǎn)品。目前國(guó)內(nèi)尚未量產(chǎn)12英寸集成電路硅片,12英寸硅片用電子級(jí)多晶硅完全由國(guó)外壟斷,8英寸及以下半導(dǎo)體硅片用電子級(jí)多晶硅已實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化。
青海黃河上游電子級(jí)多晶水電開(kāi)發(fā)有限公司新能源公司
青海黃河上游電子級(jí)多晶水電開(kāi)發(fā)有限公司新能源公司(黃河新能源)成立于2006年,同年開(kāi)始多晶硅的研發(fā)工作,于2010年投產(chǎn),形成年產(chǎn)2500噸高純電子級(jí)多晶硅產(chǎn)能。自2014年開(kāi)始,連續(xù)4年銷(xiāo)售量超過(guò)百?lài)?,?guó)內(nèi)市場(chǎng)占有率達(dá)到11%。
黃河水電多晶硅采用改良西門(mén)子法,實(shí)現(xiàn)完全閉路循環(huán),節(jié)能低耗、安全環(huán)保,其氧含量<0.02ppma,碳含量<0.02ppma,受主雜質(zhì)<0.03ppba,施主雜質(zhì)<0.05ppba,基體總金屬雜質(zhì)<2ppbw。
黃河新能源經(jīng)過(guò)近十年的努力,建成了國(guó)內(nèi)第一條電子級(jí)多晶硅生產(chǎn)線,生產(chǎn)出符合集成電路應(yīng)用的高純電子級(jí)多晶硅,并率先在國(guó)內(nèi)建立了一套完整的滿足SEMI標(biāo)準(zhǔn)的電子級(jí)多晶硅產(chǎn)品檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)、指標(biāo)體系和檢測(cè)質(zhì)量控制流程,擁有目前國(guó)內(nèi)唯一按照國(guó)際半導(dǎo)體材料與設(shè)備協(xié)會(huì)(SEMI)標(biāo)準(zhǔn)配置的多晶硅檢測(cè)實(shí)驗(yàn)室。
黃河公司在不斷推動(dòng)產(chǎn)品升級(jí)的同時(shí),還利用國(guó)內(nèi)首套完整的冷氫化技術(shù),實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)線中副產(chǎn)物的循環(huán)利用,冷氫化四氯化硅轉(zhuǎn)化率達(dá)到國(guó)內(nèi)最高水平,還原爐回收尾氣經(jīng)處理后達(dá)到電子級(jí)多晶硅生產(chǎn)要求,實(shí)現(xiàn)完全閉路循環(huán)和環(huán)保降耗。
據(jù)悉,黃河新能源電子級(jí)多晶硅通過(guò)了北京有研半導(dǎo)體材料有限公司、西安華晶電子技術(shù)股份有限公司、天津市環(huán)歐半導(dǎo)體材料技術(shù)有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司產(chǎn)品驗(yàn)證,一致認(rèn)為產(chǎn)品質(zhì)量可以滿足集成電路需求。
2013年度和2014年度均通過(guò)浙江金瑞泓科技股份有限公司的關(guān)鍵供方考察審核,獲得該公司供應(yīng)商資格,于2014年6月與浙江金瑞泓科技股份有限公司簽訂《電子級(jí)多晶硅產(chǎn)品長(zhǎng)期合作框架協(xié)議》,并共同參與6英寸、8英寸、12英寸硅片的論證實(shí)驗(yàn)。
江蘇鑫華半導(dǎo)體材料科技有限公司
2015年12月11日,江蘇鑫華半導(dǎo)體材料科技有限公司成立,由國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金聯(lián)手保利協(xié)鑫共同投資成立。
公司采用改良西門(mén)子法循環(huán)利用氯硅烷工藝生產(chǎn)的多晶硅產(chǎn)品,公司第一條生產(chǎn)線的產(chǎn)能為5000噸,未來(lái)規(guī)劃再上一條5000噸生產(chǎn)線。
鑫華半導(dǎo)體依托協(xié)鑫11年的多晶硅制造成熟經(jīng)驗(yàn),聯(lián)合海內(nèi)外千余人研發(fā)團(tuán)隊(duì),歷經(jīng)317次電子級(jí)多晶硅生產(chǎn)試驗(yàn),對(duì)629項(xiàng)技術(shù)、設(shè)備優(yōu)化改進(jìn),通過(guò)對(duì)原料純化系統(tǒng)的重新設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)了原料端徹底祛除和控制雜質(zhì)。團(tuán)隊(duì)通過(guò)選用半導(dǎo)體級(jí)材料和制造全面潔凈設(shè)備,系統(tǒng)性解決了雜質(zhì)釋放問(wèn)題,并且全球首創(chuàng)自動(dòng)化無(wú)接觸硅料處理系統(tǒng)。
2017年11月8日,公司正式發(fā)布電子級(jí)多晶硅產(chǎn)品,目前產(chǎn)品指標(biāo)經(jīng)第三方測(cè)試遠(yuǎn)超國(guó)標(biāo)電子一級(jí)品指標(biāo),試?yán)w效果完美。公司稱(chēng)產(chǎn)品質(zhì)量滿足40nm及以下極大規(guī)模集成電路用12英寸硅片制造需求。
2018年5月,公司電子級(jí)多晶硅出口韓國(guó)。2018年11月公司所有設(shè)備全面投用,電子級(jí)多晶硅質(zhì)量全面比肩國(guó)際先進(jìn)水平,標(biāo)志著我國(guó)電子級(jí)多晶硅成套技術(shù)和關(guān)鍵設(shè)備均已實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化。
洛陽(yáng)中硅高科技有限公司
公司成立于2003年3月,總部位于洛陽(yáng),現(xiàn)有兩個(gè)生產(chǎn)基地(洛陽(yáng)洛龍、偃師)和一個(gè)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)工程實(shí)驗(yàn)室。主要經(jīng)營(yíng)高純多晶硅、氣相白炭黑、高純四氯化硅、高純硅化合物產(chǎn)品、無(wú)水氯化氫等產(chǎn)品,并提供硅化合物技術(shù)服務(wù)。截止目前公司多晶硅年產(chǎn)能為20000萬(wàn)噸。
中硅高科是擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的多晶硅生產(chǎn)企業(yè),工藝技術(shù)具有能量綜合利用、物料閉路循環(huán)兩大特點(diǎn),符合大規(guī)模、低單耗、高品質(zhì)、清潔生產(chǎn)的發(fā)展方向。使用該工藝生產(chǎn)的多晶硅質(zhì)量穩(wěn)定可控,可根據(jù)客戶要求提供不同等級(jí)、不同形態(tài)的產(chǎn)品。
中硅高科正以用于電子芯片生產(chǎn)的區(qū)熔級(jí)多晶硅為突破口,打造國(guó)內(nèi)區(qū)熔級(jí)多晶硅生產(chǎn)線,向價(jià)值鏈更高端躍升。
云南冶金云芯硅材股份有限公司
云南冶金云芯硅材股份有限公司的前身是成立于2000年的昆明冶研新材料股份有限公司(昆明冶研),系1953年成立的昆明冶金研究院分離改制而來(lái)的一家高新技術(shù)公司,2012年7月26日,公司將注冊(cè)地由昆明搬遷至曲靖,2017年6月更名。
實(shí)際上,早在2006年,云南冶金集團(tuán)將電子級(jí)多晶硅產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目作為戰(zhàn)略性新興板塊置入云冶新材(原昆明冶研)具體實(shí)施。
2013年6月總投資36億元的以電子級(jí)多晶硅為目標(biāo)的3000噸/年多晶硅產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目建成投產(chǎn),部分產(chǎn)品達(dá)電子級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。經(jīng)過(guò)試用,可滿足“半導(dǎo)體器件使用要求”,2014年實(shí)現(xiàn)電子級(jí)多晶硅銷(xiāo)售。2015年開(kāi)始進(jìn)行冷氫化技改,2016年9月達(dá)產(chǎn),產(chǎn)能達(dá)6000噸/年。
2015年10月成功實(shí)現(xiàn)質(zhì)量滿足GB/T 12963-2014《電子級(jí)多晶硅》電子1級(jí)產(chǎn)品的批量穩(wěn)定生產(chǎn),至今已經(jīng)產(chǎn)出電子級(jí)多晶硅1000多噸。
宜昌南玻硅材料有限公司
宜昌南玻硅材料有限公司于2006年8月成立,隸屬于中國(guó)南玻集團(tuán)太陽(yáng)能事業(yè)部,是一家專(zhuān)業(yè)從事高純多晶硅、高效硅片、納米白炭黑、石英坩堝生產(chǎn)的大型制造企業(yè)。
公司目前已經(jīng)形成了年產(chǎn)12000噸高純多晶硅(其中電子級(jí)多晶硅2500噸/年、太陽(yáng)能級(jí)多晶硅9500噸/年)、2.2GW高效硅片以及綜合利用多晶硅尾氣殘液年產(chǎn)3400噸納米白炭黑的生產(chǎn)能力。
宜昌南玻多晶硅采用改良西門(mén)子法,增加還原尾氣干法回收系統(tǒng)、四氯化硅氫化工藝,實(shí)現(xiàn)了全閉路循環(huán)。該方法降低了單位產(chǎn)品的能耗,采用四氯化硅氫化和尾氣干法回收工藝,降低了原輔材料的消耗,保護(hù)了資源。
公司多晶硅質(zhì)量居行業(yè)先進(jìn)水平,并積極儲(chǔ)備電子級(jí)多晶硅生產(chǎn)工藝技術(shù)。據(jù)悉,公司目前電子級(jí)多晶硅產(chǎn)量在800到850噸,內(nèi)在質(zhì)量達(dá)到國(guó)標(biāo)電子三級(jí)以上,全部用于光伏產(chǎn)品,少量?jī)?yōu)質(zhì)產(chǎn)品經(jīng)深度腐蝕后送下游半導(dǎo)體廠家試用。
目前電子級(jí)多晶硅還沒(méi)有形成量產(chǎn)。為具備批量供貨能力,公司正在籌建半導(dǎo)體級(jí)專(zhuān)用產(chǎn)線,視市場(chǎng)情況推進(jìn)產(chǎn)線升級(jí)。
新疆大全新能源股份有限公司
新疆大全新能源股份有限公司專(zhuān)注高純度多晶硅專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)。公司從國(guó)外引進(jìn)世界領(lǐng)先的設(shè)備和生產(chǎn)工藝,通過(guò)消化吸收、技術(shù)創(chuàng)新實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)、全循環(huán)的閉環(huán)式運(yùn)行制造高純多晶硅。生產(chǎn)過(guò)程物料利用率高、能耗低、綠色環(huán)保,各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。
公司生產(chǎn)的高純度多晶硅主要用于太陽(yáng)能光伏,年產(chǎn)能為1.8萬(wàn)噸。
為搶抓國(guó)家關(guān)鍵核心產(chǎn)業(yè)布局,公司積極儲(chǔ)備電子級(jí)多晶硅技術(shù)。2017年10月20日,公司年產(chǎn)13000噸多晶硅項(xiàng)目B階段開(kāi)工建設(shè),包括建設(shè)年產(chǎn)2500噸的電子級(jí)多晶硅產(chǎn)能。整體工程已經(jīng)于2018年12月開(kāi)始投產(chǎn),相關(guān)電子級(jí)多晶硅情況還不明朗。
新特能源股份有限公司
新特能源股份有限公司是特變電工控股子公司,是專(zhuān)業(yè)從事光伏新能源產(chǎn)品研制及技術(shù)研發(fā)的高新技術(shù)企業(yè),在多晶硅產(chǎn)品制造領(lǐng)域,公司具備3萬(wàn)噸生產(chǎn)能力。
新特能源研發(fā)出大規(guī)模電子級(jí)多晶硅生產(chǎn)的系列化配套工藝技術(shù)體系,從而實(shí)現(xiàn)電子級(jí)多晶硅國(guó)產(chǎn)化。
為了把握行業(yè)發(fā)展機(jī)遇,2018年公司開(kāi)始實(shí)施年產(chǎn)3.6萬(wàn)噸高純多晶硅產(chǎn)業(yè)升級(jí)項(xiàng)目的建設(shè),項(xiàng)目生產(chǎn)的多晶硅產(chǎn)品品質(zhì)將全部達(dá)到電子級(jí)二級(jí)及以上,服務(wù)于高品質(zhì)的單、多晶硅片用料市場(chǎng),于2019年上半年項(xiàng)目建成投產(chǎn),其中包括年產(chǎn)1500噸的電子級(jí)多晶硅生產(chǎn)線。
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